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光電及半導體產品中光學元件之光學特性測定 －－ 自動絕對反射位相差測定裝置 |
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在光電及半導體產品製程上，各項光學元件及電子零件之分光以及偏光特性或膜厚的量測，對維持製品的性能和品質而言很重要。一般常用橢圓偏光儀(Episometer)來量測這些光學元件之光學特性；但是在大量生產的CD DVD光通信設備等產業的例行測定上，橢圓偏光儀的量測略為複雜，且橢圓偏光儀售價偏高（數百萬台幣），日本分光為了滿足這種需求,實現了最適合用在例行測定的自動絕對反射位相差測定裝置，可以簡易測定光學元件之分光及偏光特性。
自動絕對反射位相差測定裝置是把偏光鏡組合在自動絕對反射率測定裝置的簡易型測定裝置。本裝置可測定光學元件在固定偏極光的吸收或反射圖譜,再從該圖譜測出位相差的波長分散。因為本裝置附屬於自動絕對反射測定裝置,測定ψ和△之外,也測定%T或%R等分光特性 偏光特性的角度依存性,也可以鑑定從圖譜到band之間的遷移。
若欲進一步了解產品資料，請與本公司聯絡！
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