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| 固態樣品測量附件-積分球 |
搭配溫控附件作3D scan |
毛細管套件, 可作微量樣品溫控測量 |
| 產品規格 |
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| 光源 |
150瓦 氣冷式氙燈
or 450瓦 氣冷式氙燈 |
| 測量波長範圍 |
163 to 950 nm (standard)
163 to 1600 nm (option) |
| 波長準確度 |
±0.1 nm (163 to 250 nm) |
| 波長再現性 |
±0.05 nm (163 to 500 nm) |
| 光譜頻寬 |
0.01 to 16 nm |
| 狹縫寬度 |
1 to 4000 µm |
| 掃描模式 |
逐步式掃描 Step scan
連續式掃描Continuous scan
自動感應式掃描Auto-response scan |
| 光譜雜訊(RMS) |
0.004 mdeg (185nm, 150W)
0.003 mdeg (185nm, 450W)
0.007 mdeg (200, 500 nm) |
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| 產品特色 |
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| • 內建校正用汞燈源 |
| • 軟體符合 21CFR part 11確效規範 |
| • Multi-probe function可同時進行多種測量模式 (CD, Abs, LD, FDCD...) |
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CD Tips & Tricks