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靜電消除裝置
( IONIZER )
環境靜電消除系統
機台內靜電消除應用
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產品規格
•半導體產業、光電 LCD產業、電子光產業、硬碟產業....等產品之靜電消除。
•詳細規格請與相關人員連絡!
產品特色
•符合半導體製程環境控制之要求規範。
•解決靜電對於機台產品之–ESD Damage, Particles吸附,機台當機或是誤動作。
•提供各類型特殊應用製程之靜電消除裝置。
•低保養、使用壽命長。
•安裝容易，不需更改機台。
•提供Alarm警示監控功能。
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